光源

白光LED

白光LED

标配影像系统

1024×1024（2048×2048可选）

1024×1024（2048×2048可选）

标配干涉物镜

10×（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

10×（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

标配光学ZOOM

1×，（0.5×、0.75×可选）

1×，（0.5×、0.75×可选）

标配视场

0.49*0.49mm

0.49*0.49mm

******视场

6*6mm

6*6mm

物镜塔台

3孔手动

3孔手动

XY位移平台

尺寸

320×200mm

320×320mm

移动范围

140×110mm

200×200mm

负载

10kg

10kg

控制方式

电动

电动

水平调整

±4°手动

±电°手动

Z轴聚焦

行程

100mm

100mm

控制方式

电动

电动

Z向扫描范围

10 mm

10 mm

Z向分辨率

0.1nm

0.1nm

可测样品反射率

0.5%~100%

0.5%~100%

粗糙度RMS重复性

0.005nm

0.005nm

台阶测量

准确度

重复性

准确度

重复性

0.75% 1σ

0.1% 1σ

0.75% 1σ

0.1% 1σ