产品展示
首页 / 产品展示 / 晶圆搬运机
硅片搬送机
硅片搬送机
分类:晶圆搬运机   发布时间:2023-05-20   75次浏览

硅片搬送机采用不同的观察方式:明场、暗场、微分干涉、红外和深紫外,都可以呈现出高清晰度和高解析的图像。硅片搬送机支持不同尺寸的硅片传输,具有360度自动旋转而完成硅片的宏观检查。这一设计可以方便的发现硅片正反面上的缺陷和颗粒。另外,可以通过使用摇杆将硅片倾斜30度进行宏观检查,提高了检查效率。

可传输超薄硅片。为了应对更具有挑战性的超薄硅片,此款传输手臂可以应对25片装的200mm的片盒以及到90um的硅片,并完成安全传输和显微镜检查。另外,还可通过面板预设近10种不同厚度的硅片信息。


产品详情

技术规格:Technical  specifications

 型号

200 mm专用型

200 mm/150 mm 兼用型

150 mm型

晶圆尺寸SEMI规格

200mm

200mm/150mm

150mm/125mm/100mm

晶圆最小厚度

90μm

180μm

400μm

150μm

片盒类型*

SEMI stad.25(26)-slot

片盒数

1

检查模式

全部检查/抽样检查

微观检查(显微镜检查)

™

™

™

™

™

™

™

表面宏观检查

™

™


™


™


背面宏观检查

™

™


™


™


二次背面宏观检查

™

™


™


™


晶圆定位(每 90º)

非接触(定位平边/V型槽)

非接触(定位平边)

适配显微镜型号l

奥林巴斯半导体检查显微镜 MX61L

尺寸(mm)

640(W) X 620(D) X 378(H) Body Only,1100(W) X 620(D) X 378(H) with   Microscope

570(W) X 620(D) X 400(H) Body Only,980(W) X 620(D) X 400(H) with   Microscope

重量(kg)(仅主机部分)

44

44

41

44

41

40

37

使用环境(电源/真空)

AC100 V~120 V、1 A或AC220 V~240 V、0.5 A 50/60   Hz、-67~-80 kPa、20 Liter/min以上
















12寸

型号

AL120-LMB12-LP

AL120-LMB12-F

晶圆尺寸

300mm(SEMI M1.15t=775μm)可选:200mm

卡盒数

单盒(装载、卸载兼用)

卡盒设置高度

900mm

装载端口

搬运顺序

表面宏、内面宏、显微镜检查

晶圆校准

非接触式中心环

晶圆搬送方式

真空吸附机械搬运

应用环境

AC100-120V,220~240V,3.0/1.7A,50/60Hz,真空 60~80Kpa

适用显微镜

半导体检查显微镜MX61L

 

image111.png

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 


相关产品